普洛帝PMT-2电子超纯水颗粒管控解决方案

阅读次数：1758     发布时间：2023/6/29 10:30:11

什么是超纯水？

超纯水是指电阻率达到18MΩ^*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。

什么是电子超纯水？

集成电路的生产，几乎每道工序都需要超纯水进行清洗，工件与水直接接触，而一方面芯片在加工过程中的微量玷污得到清洗，而另一方面纯水中的微量杂质又可能使芯片再污染，无疑对产品有着大的影响。随着集成电路程度的进一步提高，对水中污染物要求亦将更为严格，从六十年代末期，美国五家公司提出的集成电路用纯水的水质指标以来，集成电路每进一代，杂质都要减少1/2-1/10。美国材料实验学会（ASTM）1983、1990年颁发的电子水质标准，已不能适应超大规模集成电路迅速发展的需要。目ASTM提出了新的、更为严格的水质指标。

电子超纯水的颗粒管控解决新方案

电子超纯水的要求，就需要一款具备颗粒管控功能的仪器对超纯水的水质进行管控。对电子超纯水里粒子的大小和数量的多少进行监控，进而判定电子超纯水的别和洁净度。普洛帝自主研发生产的PMT-2液体颗粒计数器，集成款门是针对电子超纯水颗粒进行管控的仪器。仪器主机将取样系统、检测系统和显示操作系统集成到一体，一台仪器就可以完成实时、在线、不间断的颗粒监测。是超纯水制备集成商，超纯水应用商，超纯水清洗产线不可多得的颗粒监控仪器。

电子超纯水判定有2个别，一电子水的管控粒径下限是0.05um，二电子水管控粒径0.1um。PMT-2在线超纯水液体粒子计数器，有2个检测范围的传感器，分别是0.05-0.2um、0.1-1.0um，客户可根据管控的电子超纯水的别来选定仪器。

原创作者：普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控