表面颗粒物检测仪

表面颗粒物检测仪

普洛帝表面颗粒物检测仪P-III产品特点

覆盖高洁净场景

半导体制造：晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。

精密光学与电子：液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。

智能化设计与操作体验

7英寸高分辨率触控屏：支持实时数据可视化与交互操作，简化流程。

双电池热插拔系统?：支持连续生产场景下的不间断作业，电池更换无需停机。

USB数据接口与软件升级?：便捷导出检测报告，并可通过固件更新持续优化性能。

提升制造效率

减少50%自净时间?：通过量化表面污染数据，缩短设备维护周期（PM周期），提升产线吞吐量。

延长MTBC（平均无故障周期）：结合颗粒控制策略，关键设备可靠性提升4倍以上。

符合国际标准

产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范，为*半导体厂商提供标准化检测工具。

产品参数测量粒径:A 0.3um、2.5um、10um;                                                   B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um;C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;             D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;       F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒径分布误差：≤±30%2、浓度示值误差：≤±30%3、重复相对偏差：≤±10%FS4、重叠误差：≤5%5、气体检测：可测气体浓度（可选配）6、温度范围：-40 ～ 120℃7、检定标准：ISO14644-1或 JJF11908、气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；9、采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；10、检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；11、检测方式：定时检测、循环检测可设置     12、报警方式：自定义数量报警值、质量报警值13、限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器14、法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等15、合 规 性：符合ISO 21501-4，JIS B992116、通讯接口：RS232、R485、LAN-USB17、存储模式：实时、定时存储可设置；无限制18、打印模式：可选配微型打印机打印数据19、工作条件：5 ～ 45℃、≤90%RH，无冷凝20、工作电源：AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz21、多种探针可选

原创作者：普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控

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